所有选型参照四探针选型指南（点击进入）

一、结构特征

ST2258C型多功能数字式四探针测试仪

一、 结构特征 二、概述      ST2258C型多功能数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头、测试台等部分组成。 主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；电压电流全自动转换量程；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪特赠设测试结果分类功能，最大分类10类。      探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。      测试台选配：一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。二探针法测试电阻率测试选SZT-K型测试台，也可选配SZT-D型测试台以测试半导体粉末电阻率，选配SZT-G型测试台测试橡塑材料电阻率。详见《四探针仪器、探头和测试台的特点与选型参考》。 三、基本技术参数 1. 测量范围、分辨率（括号内为可向下拓展1个数量级）    电    阻：10.0×10-6 ～ 200.0×103  Ω,    分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103  Ω               （1.0×10-6 ～ 20.00×103  Ω,    分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω）    电 阻 率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm   分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103  Ω-cm               （1.0×10-6 ～ 20.00×103 Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103 Ω-cm）    方块电阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□    分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103  Ω/□                 （5.0×10-6 ～ 100.0×103 Ω/□  分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103  Ω/□） 2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定) 直    径： SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限 SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限. 长(高)度：  测试台直接测试方式 H≤100mm,    手持方式不限.  测量方位:  轴向、径向均可 3. 量程划分及误差等级 满度显示 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 常规量程 kΩ-cm/□ kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□ --- 最大拓展量程 --- kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□ mΩ-cm/□ 基本误差 ±2%FSB ±4LSB ±1.5%FSB ±4LSB ±0.5%FSB±2LSB ±0.5%FSB ±4LSB ±1.0%FSB ±4LSB 4.工作电源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W 5.外形尺寸： 245mm（长）×220 mm（宽）×95mm（高）净   重：≤1.5～2.0kg

ST2263型双电测数字式四探针测试仪简介

一 结构特征

ST2263型双电测数字式四探针测试仪  ST2263 软件界面

配S2253-F01钨针探头测硅片      配ST2558B-F01探头测试ITO薄膜

二、概述     ST2263型双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。    

仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头、测试台以及PC软件等部分组成。     主机主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，USB通讯接口。仪器主机所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘和数码开关输入；具有零位、满度自校功能；测试功能可自动/手动方式；仪器操作可由配套软件在PC机上操作完成，也可脱PC机由四探针仪器面板上独立操作完成。测试结果数据由主机数码管直接显示，也可连机由软件界面同步显示、分析、保存和打印！

探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。    测试台选配：一般四探针法测试电阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型测试台。

三、基本技术参数

3.1  测量范围    电阻率：1×10^-4～2×10⁵ Ω-cm，分辨率：1×10^-5～1×10² Ω-cm    方  阻：5×10^-4～2×10⁵ Ω/□，分辨率：5×10^-5～1×10² Ω/□    电  阻：1×10^-5～2×10⁵ Ω   ，分辨率：1×10^-6～1×10² Ω

3.2  材料尺寸(由选配测试台决定和测试方式决定)    直    径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限    SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.    长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm,    手持方式不限.    测量方位: 轴向、径向均可

3.3.  4-1/2 位数字电压表：    (1)量程： 20.00mV～2000mV    (2)误差：±0.1%读数±2 字

3.4  数控恒流源   (1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA，1A   (2)误差：±0.1%读数±2 字

3.5  四探针探头（选配其一或加配全部）   (1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距1.0mm，探针压力: 0～2kg 可调   (2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可调

3.6 电源   输入: AC 220V±10% ,50Hz  功        耗：<20W

3.7 外形尺寸：   主机  220mm（长）×245 mm（宽）×100mm（高）

RTS-8型双电测四探针测试仪

恒流源电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档； 可连接电脑使用也可以不连接电脑使用，连接电脑使用带自动测量功能，自动选择适合样品测试电流量程； 高速并口通讯接口，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）；

RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。    仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。    仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

RTS-8型四探针测试仪前面板

RTS-8型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。    测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析

技　术　指　标 ：

测量范围 电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；  方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)； 电导率：10-5～105 s/cm； 电阻：10-5～105 Ω； 可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；200mmX200mm(配S-2B型测试台)；400mmX500mm(配S-2C型测试台)； 恒流源 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调 数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；  机械游移率：≤0.3%；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)； 四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证) 模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 整机测量最大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% 整机测量标准不确定度 ≤5% 测试模式 可连接电脑测试也可不连接电脑测试 软件功能（选配） 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 计算机通讯接口 并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。 标准使用环境 温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；

RTS-9型双电测四探针测试仪

RTS-9型双电测四探针测试仪采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新技术,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换，在计算机控制下进行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正，因此显著降低了几何因素影响，从而提高了测量结果的准确度。所有这些，用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪器是无法实现的。

RTS-9双电测四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序。测试程序在计算机与RTS-9型四探针测试仪连接的状态下，通过计算机的并口实现通讯。    测试程序控制四探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析

技　术　指　标 ：

测量范围 电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；  方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)； 电导率：10-5～105 s/cm； 电阻：10-5～105 Ω； 可测晶片厚度 ≤3mm 可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；200mmX200mm(配S-2B型测试台)；400mmX500mm(配S-2C型测试台)； 恒流源 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调 数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；  机械游移率：≤0.3%；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)； 四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证) 模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 整机测量最大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4% 整机测量标准不确定度 ≤4% 测试标准 采用双电测测试标准，通过RTS-9双电测测试软件控制四探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算出电阻值。仪器主机也可兼容RTS-8四探针测试软件实现单电测测试标准，两套软件可同时使用。 软件功能 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 计算机通讯接口 并口，高速并行采集数据。 标准使用环境 温度：23±2℃； 相对湿度：≤65%； 无高频干扰； 无强光直射；

RTS-5型双电测四探针测试仪

RTS-5型双电测四探针测试仪采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新技术,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换，在计算机控制下进行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正，因此显著降低了几何因素影响，从而提高了测量结果的准确度。所有这些，用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪器是无法实现的。RTS-5型双电测四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析

技　术　指　标 ：

测量范围 电阻率：0.0001～2000Ω.cm(可扩展)； 方块电阻：0.001～20000Ω/□(可扩展)； 电导率：0.0005～10000 s/cm； 电阻：0.0001～2000Ω.cm； 可测晶片厚度 ≤3mm 可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；200mmX200mm(配S-2B型测试台)；400mmX500mm(配S-2C型测试台)； 恒流源 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调 数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；　　针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 　　　　　机械游移率：≤0.3%； 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)； 四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证) 模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 整机测量最大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4% 整机测量标准不确定度 ≤4% 测试标准 采用双电测测试标准，通过RTS-5双电测测试软件控制四探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算出电阻值。仪器主机也可兼容RTS-4四探针测试软件实现单电测测试标准，两套软件可同时使用。 软件功能 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 计算机通讯接口 并口，高速并行采集数据。 标准使用环境 温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；

RTS-4型四探针测试仪前面板

技　术　指　标 ：

测量范围 电阻率：0.0001～2000Ω.cm(可扩展)；  方块电阻：0.001～20000Ω/□(可扩展)； 电导率：0.0005～10000 s/cm； 电阻：0.0001～2000Ω.cm； 可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；200mmX200mm(配S-2B型测试台)；400mmX500mm(配S-2C型测试台)； 恒流源 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调 数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 四探针探头基本指标 间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3%；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)； 四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证) 模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 整机测量最大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% 整机测量标准不确定度 ≤5% 测试模式 可连接电脑测试也可不连接电脑测试 软件功能（选配） 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 计算机通讯接口 并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒 标准使用环境 温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；

RTS-7型二探针测试仪

RTS-7型二探针测试仪是运用二探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料纵向电阻率的专用仪器。仪器由主机、测试台、二探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

RTS-7型二探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。

技　术　指　标 ：

测量范围 电阻率：10-5～105 Ω.cm； 恒流源 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调 数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 二探针探头基本指标 间距：3mm（可选其它间距）；针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3％；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)； 二探针探头应用参数 (见探头附带的合格证) 模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 测试架 配置T-2A测试架，两端电极Ф8mm～20mm（可选其他尺寸订做） 计算机通讯接口 并口 标准使用环境 温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；